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四川伺服驅(qū)動器銷售R7G-RGSF09C400內(nèi)江伺服電機維修MR-J2-60CT AO6B-1404-B200a2/10000i 單晶硅爐的工藝流程簡介 單晶硅爐爐的組成組件可分成四部分 (1)爐體:包括石英坩堝，石墨坩堝，加熱及絕熱組件，爐壁 (2)晶棒及坩堝拉升旋轉(zhuǎn)機構(gòu):包括籽晶夾頭，吊線及拉升旋轉(zhuǎn)組件 (3)氣氛壓力控制:包括氣體流量控制，真空系統(tǒng)及壓力控制閥 (4)控制系統(tǒng):包括偵測感應(yīng)器及電腦控制系統(tǒng) 加工工藝: 加料 熔化 縮頸生長 放肩生長 等徑生長 尾部生長 (1)加料:將多晶硅原料及雜質(zhì)放入石英坩堝內(nèi)，雜質(zhì)的種類依電阻的N或P型而定 雜質(zhì)種類有硼，磷，銻，砷 (2)熔化:加完多晶硅原料于石英堝內(nèi)后，長晶爐必須關(guān)閉并抽成真空后充入高純氬氣使之維持一定壓力范圍內(nèi)，然后打開石墨加熱器電源，加熱至熔化溫度(1420℃)以上，將多晶硅原料熔化 (3)縮頸生長:當硅熔體的溫度穩(wěn)定之后，

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